高純氣體分析儀在眾多領域,如半導體制造、化工、醫(yī)療科研等,發(fā)揮著至關重要的作用,它能夠精準分析高純氣體中的各種成分及雜質(zhì)含量。為了確保其分析結果的準確性和儀器的長期穩(wěn)定運行,日常的“體檢”很關鍵。
首先是外觀檢查。每日操作前,需仔細查看儀器的外殼是否有損壞、變形或磨損情況。還要檢查儀器的按鍵、顯示屏是否能正常響應,觸摸是否靈敏,有無死機或顯示異常的現(xiàn)象。
氣路連接方面,要定期檢查氣體進樣管、排氣管等連接是否牢固。如有松動,應及時緊固,防止氣體泄漏影響分析結果。同時,查看管路有無磨損、老化或堵塞情況,如有異常,要及時更換或清理。
壓力檢查是日常“體檢”的重要一環(huán)。要檢查載氣、載氣壓力調(diào)節(jié)閥等是否有泄漏,壓力是否在設定范圍內(nèi)。壓力不足或過高都可能導致分析結果不準確或損壞儀器,應確保壓力穩(wěn)定在正常水平。
校準工作也不容忽視。定期使用已知濃度標準氣體對儀器進行校準,以核對儀器的準確性。校準過程中要觀察儀器的響應曲線和測量數(shù)據(jù),若與標準氣體濃度存在較大偏差,需及時調(diào)整和維護。
采樣系統(tǒng)也需進行“體檢”。保持采樣氣體入口、過濾器等部件的清潔,防止雜質(zhì)堵塞影響采樣效率和分析精度。定期更換過濾器,定期檢查采樣泵的性能,確保采樣流量和壓力的穩(wěn)定性。
另外,定期檢查儀器的散熱系統(tǒng)。良好的散熱環(huán)境是儀器正常工作的保障,若散熱不良,儀器內(nèi)部溫度升高,可能影響分析精度和使用壽命。
儀器的日常“體檢”是保障高純氣體分析儀正常工作的關鍵步驟,只有做好這些,才能確保儀器的準確性和穩(wěn)定性,為生產(chǎn)科研提供可靠的分析數(shù)據(jù)。